精彩“新一站”内地首条12英寸晶圆再生量产 至微打造我国强“芯”新势力

　　安徽省合肥市近年来加速推动集成电路全工业链开展，倾力打造“我国IC之都”。作为合肥“芯”的集合区，合肥新站高新区现在已会聚工业上下游企业达47家，具有安徽省首座12寸晶圆厂及两家封测企业，包含集成电路要害资料、通用装备、集成电路规划、晶圆代工等较全工业链。本年一季度，新站高新区集成电路工业完成主营事务收入38.8亿元(人民币，下同)，同比添加约330.65%。

　　在显现驱动芯片和半导体要害资料范畴布局完善的新站高新区，正在活跃建造包含硅片及再生、特种气体、光刻胶、靶材、湿化学品等的专业半导体资料园区。而具有内地首个立项并最早量产12英寸晶圆再生工厂的合肥至微半导体有限公司(下文简称“至微半导体”)，正是新站高新区工业布局的又一重要一环。

　　至微半导体由上海至纯洁净体系科技股份有限公司出资10亿元建造，包含12英寸晶圆再生和零部件清洗两大产线月，至微半导体打造的服务于内地半导体高阶商场的12英寸晶圆再出产线正式投产，该项目不只弥补了内地集成电路工业链又一空白，助力内地晶圆厂脱节晶圆再生长时刻首要依靠海外的困境，更为我国芯片工业界循环作出了重大贡献。据介绍，该项目达产后，可构成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的才能，年产值可超越6亿元。

　　晶圆再生是将集成电路制作厂商在制作芯片进程中运用过的测验片进行收回，将测验晶圆外表的工艺薄膜、金属颗粒残留等杂质去除，使其到达再次运用的规范，进而为企业节省许多本钱。

　　在半导体工业链中，作为芯片的载体，晶圆一直发挥着根底中心作用。至微半导体晶圆再生厂负责人介绍，跟着5G、人工智能和物联网等技能不断开展，各行各业对芯片功能和能效要求都越来越高，而往往制程等级越高的芯片，在出产进程中需求耗费的测验晶圆片份额也会越高，有时乃至到达了1:1的份额。这也就意味着，高等级制程的芯片产品，有挨近一半的晶圆能够收回再运用。

　　“此前大部分大陆晶圆厂都是将测验片送去台湾或日本、韩国进行再生加工。”该负责人表明，晶圆再出产线归于重财物出资项目，且这个职业非常通明，再生晶圆的赢利率较低，在2018年之前，大陆晶圆再生的商场体量并不足以支撑整个工业。而跟着近年来国家方针的大力支撑和内地芯片制作产能的继续提高，内地半导体商场在全球商场的占比不断提高。在此根底上，跟着半导体职业继续往先进制程推动，测验需求亦不断添加，再生晶圆耗费量大大提高。

　　现在，内地一年运用的晶圆中仅12英寸晶圆就超越500万片，可收回晶圆每月有超越三四十万片。当赢利不断下降的时分，节省本钱就变得尤为重要，加上企业对测验晶圆的需求越来越大，晶圆的再运用能够为半导体企业下降更多本钱，因而，进一步催生了晶圆再生工业在内地的落地。

　　至微半导体有限公司是具有内地首个立项并最早量产12英寸晶圆再生工厂的企业。(张玲杰摄)

　　自上一年8月至今，至微半导体再生晶圆产线已完成包含华虹、中芯、晶合等内地闻名半导体企业产品的验证，而相比到国外进行晶圆再生 ，这些企业晶圆再生的本钱中仅运费一项就节省了超越30%的本钱。

　　“除了帮客户下降运送本钱，在大陆产线进行晶圆再生，其周期依据制程不同也能够缩短一大半。”该负责人介绍，现在半导体企业在至微半导体进行晶圆再生大约需求一个月时刻，而此前将晶圆出口到国外进行处理，来回至少需求3个月。时效是这个职业最大的竞赛优势，缩短测验晶圆的再生周期，也就意味着半导体企业能够削减测验晶圆的储藏数量，进一步下降本钱。

　　至微半导体在开始规划晶圆再生厂时，就以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为规划根底，是现在内地最高阶的再出产线。据悉，每次对晶圆进行再生，都需求对其外表进行打磨，根据晶圆自身的厚度约束，晶圆再生的次数是有限的。据介绍，一般一片晶圆运用一般工艺只能再运用两三次，而经过至微半导体的特有技能，可完成晶圆5到10次的循环运用。当晶圆不能被半导体企业再运用时，经过再生后还能够进入封装厂、光伏厂等企业，进行梯次运用，最大极限的发挥晶圆的运用价值。

　　至微半导体的晶圆再出产线纳米晶圆厂的再生晶圆需求为规划根底。(至微半导体供图)

　　除了晶圆再出产线，至微半导体亦同步打造了未来产能达120万件零部件清洗才能的备件清洗厂。亦如轿车行进到达必定公里数后需求保养相同，半导体企业制作晶圆的设备在运用必定时刻后也需求进行清洗和保护。

　　至微半导体备件清洗厂长黄彧霈介绍，半导体设备杂乱，内含零部件达4000多个，许多要害部件需求定时保护，尤其是与晶圆直接触摸的部件更是需求等级很高的保养程序。“例如设备中晶圆的载具、静电吸附盘等部件，在运用必定周期后还需求再生修正，咱们需求将这些部件上面的沉淀物悉数清除去，康复到可继续出产的状况。”

　　设备清洗进程中，越高阶的制程设备，对清洗才能的要求就越高，乃至包含一些部件上的金属离子的个数都有着极高的要求。“咱们产线纳米以下制程节点的规范来进行，选用的是半导体最高阶的清洗设备。”黄彧霈介绍，以等离子喷涂设备为例，在零部件的外表上再附一层相同原料或不同原料的薄膜，能够有用延伸零部件的运用寿命和稳定性，现在公司装备的4套等离子喷涂设备，是大陆最大的量产线纳米以下的制程规范，至微半导体无尘室的等级也做到10级。“10纳米制程工艺的设备对微粒子的管控要求非常高，所以咱们在包装区、查验区等区域都投入了最好的设备。”黄彧霈表明。

　　与晶圆再生相似，曾经内地半导体企业制程等级高的配件保养也首要送到日本、韩国等地进行保护，加上报关的时刻，至少需求30到45天的周期。“现在假如不触及再生工艺，一般3到5个工作日客户就能够收到保护的零部件，即便是等离子喷涂这样的长工时保养，也只需7到15天时刻。”黄彧霈表明，零部件保护周期短，半导体企业需求预备的备品零件就少，就能够变相下降企业的储藏本钱。

　　打造添补工业链空白的晶圆再生项目时，至微半导体为何选址合肥市新站高新区?

　　至纯集团驻合肥代表陈拂晓介绍，合肥市要点打造半导体全工业链，对企业有着优惠的招商引资方针和极大的扶持力度。“除了拿地、税收等方面的优惠外，新站高新区管委会对企业在人员招工、配套服务、事务洽谈等方面都给与了很大的支撑。”陈拂晓表明，新站高新区经贸局有专门的负责人对接，对公司的一些服务需求，都会落到实地去协助处理。特别是疫情期间，新站高新区管委会工作人员还协助和谐对接晶圆、半导体设备零件等货品进出合肥市的物流问题，保证企业正常有序运转。

　　“咱们也更看好合肥市的区位优势。”陈拂晓介绍，合肥市地处我国中心地带，从合肥市乘坐高铁，根本两个半小时的旅程就能够辐射长三角地区80%的芯片厂。关于时效要求极高的晶圆再生和零部件保养服务，合肥市的区位优势为企业缩短了更多物流运送的时刻本钱。

　　合肥新站高新区在显现驱动芯片和半导体要害资料范畴布局完善、特征明显，现已构成了以晶合集成、奕斯伟、新汇成、捷达、京东方为中心的驱动IC微循环，该区正在布局建造包含硅片及再生、特种气体、光刻胶、靶材、湿化学品等专业半导体资料园区。

　　至微半导体晶圆现有再出产线多片晶圆再生，借力合肥新站高新区在半导体工业链的开展规划，该企业非常看好未来商场，估计到明年初就可完成每月75000片晶圆再出产能，可进一步满意商场需求。